1785年，一位名叫 Van Marum 的荷蘭化學家可能是第一個通過氣味檢測臭氧氣體的人。在他的實驗描述中，他提到了在他的電氣設備周圍有一種特殊氣味的概念。

 

然而，臭氧的發現只是在不久之后才在 Schönbein 的一篇可追溯到 1840 年的著作中被提及。這一發現被提交給了慕尼黑大學。Schönbein 在他的實驗中注意到了與范馬魯姆早些時候試圖識別的相同的特征氣味。他將這種氣體稱為“臭氧”，它是從 ozein 中分離出來的。希臘語中的氣味。一般來說，臭氧的發現歸功于 Schönbein。此外，Schönbein 被提及為研究臭氧與有機物反應機理的第一人。

 

1840年后，許多關于臭氧消毒機理的研究接踵而至。Von Siemens 在柏林制造了第一臺臭氧發生器。這家制造商還寫了一本關于臭氧在水中應用的書。這導致了一些試點項目的開展，其中研究了臭氧的消毒機制。  

 

1897年，法國化學家 Marius Paul Otto （下圖）因其關于臭氧的論文而在法國大學獲得博士學位。他是第一個創辦專門生產臭氧裝置的公司的人：“Compagnie des Eaux et de l'Ozone”。  

 

 

1893 年，在荷蘭的奧德松進行了臭氧的第一次技術規模應用。法國科學家對這套臭氧裝置進行了深入研究，此后（1906 年）在尼斯安裝了另一臺裝置。此后，臭氧在尼斯不斷應用，使尼斯被稱為“飲用水處理臭氧的誕生地”。 

 

在第一次世界大戰之前的幾年里，各國臭氧裝置的使用有所增加。1916 年左右，整個歐洲使用了 49 個臭氧裝置（其中 26 個位于法國）。然而，這種增長很快就動搖了。這是對有毒氣體研究的結果，這顯然導致了氯氣的發展。這種消毒劑似乎是臭氧的合適替代品，因為它在管理上不存在應用保障低、臭氧產生率低等缺點。臭氧產量直到二戰后才達到之前的水平。1940 年，全世界使用的臭氧裝置數量僅增長到 119 個。1977 年，這個數字增加到 1043 個臭氧裝置。超過一半的裝置位于法國。大約在 1985 年，應用臭氧裝置的數量估計超過 2000 個。

 

今天，氯仍然比臭氧更適合水消毒。然而，最近幾十年臭氧應用的應用確實開始再次增加。這是由于在 1973 年發現三鹵甲烷 (THM) 作為氯消毒的有害消毒副產品。因此，科學家們開始尋找替代消毒劑。     

 

另一個問題是地表水中令人不安的、難以去除的有機微污染物的增加。這些化合物似乎比氯和氯化合物更快地被臭氧氧化。此外，臭氧甚至可以滅活那些對消毒劑產生抗性的微生物，例如隱孢子蟲。最后，在解決臭氧管理方面的不足方面取得了進展。